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無油活塞真空泵常見應用領域

發布時間:2021-10-11      點擊次數:82
  無油活塞真空泵常見應用領域:
  1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
  2、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
  3、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  4、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
  5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

  怎樣做好無油活塞真空泵的日常維護?
  1、設備周圍環境應保持清潔、干燥,通風良好。檢查冷卻水路是否暢通。
  2、檢查各潤滑部位的潤滑油是否符合規定。
  3、操作人員必須嚴格按操作規程進行操作,巡回檢查發現問題必須及時處理。
  4、必要時可報告有關部門進行狀態。
  5、每班必須檢查各部緊固螺栓,不得有松動現象,經常檢查真空罐中的液位是否正常有效,并進行必要緊固。
  6、隨時檢查真空表、電流表的讀數是否正常。隨時注意觀察設備運轉有無異常聲響或振動。
  7、機殼外部清理,請在切斷電源的情況下,用干燥柔軟的抹布清理機殼外部的灰塵污垢,每月至少清理一次。
  8、進氣過濾消音器的清洗,過濾消聲器過濾棉的清洗很重要,它直接影響真空泵的流量和壽命,每月至少清洗一次,請將消聲器擰下,拆開消聲器端蓋,取出過濾棉,用清水沖洗干凈,涼干,再安裝好使用。如果不能清洗干凈,請更換過濾棉。

無油活塞真空泵

 

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